Η φασματομετρία μάζας με επαγωγικά συζευγμένο πλάσμα (ICP-MS) είναι ένας τύπος φασματομετρίας μάζας που είναι ιδιαίτερα ευαίσθητος. Μπορεί να δει μια σειρά μετάλλων και πολλά μη μέταλλα σε συγκεντρώσεις κάτω από ένα μέρος στο 1012 (μέρος ανά τρισεκατομμύριο). Βασίζεται στη σύνδεση ενός επαγωγικά συζευγμένου πλάσματος ως μέθοδο παραγωγής ιόντων (ιονισμός) με ένα φασματόμετρο μάζας ως μέθοδο διαχωρισμού και ανίχνευσης των ιόντων. Πολλοί χημικοί χρησιμοποιούν αργό ως φέρον αέριο για την παραγωγή του πλάσματος. Το μηχάνημα στέλνει τα ιόντα του δείγματος μέσω μιας σειράς μικρών κώνων. Οι κώνοι αφήνουν τα ιόντα του πλάσματος να εισέλθουν αργά στο θάλαμο κενού του φασματόμετρου μάζας.
Στην ανάλυση ιχνοστοιχείων, η μέθοδος έχει πλεονεκτήματα υψηλής ταχύτητας, ακρίβειας και ευαισθησίας σε σύγκριση με τις τεχνικές ατομικής απορρόφησης. Η ταυτόχρονη ανάλυση χαμηλότερων συγκεντρώσεων είναι πιο επιρρεπής σε διαταραχές από ίχνη μολυσματικών ουσιών στα χρησιμοποιούμενα εργαστηριακά σκεύη και αντιδραστήρια. Ορισμένοι αναλυτές δεν μπορούν να λειτουργήσουν με το ICP-MS. Η επαλήθευση των αποτελεσμάτων της ανάλυσης απαιτεί πρόσθετη εργασία.
Η ποικιλία των εφαρμογών υπερβαίνει εκείνη του ICP-OES και περιλαμβάνει τον προσδιορισμό ισοτοπικών ειδών. Επειδή το ICP-MS μπορεί να βοηθήσει στην κατασκευή ατομικών βομβών, το υλικό ICP-MS αποτελεί αντικείμενο ειδικών κανονισμών εξαγωγής.